——從Lab到Fab全鏈檢測,助力中國化合物半導體加速跑
上海2026年3月19日 /美通社/ -- 從材料研發到量產良率,化合物半導體的產業化之路,每一步都依賴于精準的"丈量"。自2025年完成對韓國領先化合物半導體晶圓檢測企業EtaMax的收購以來,HORIBA持續推進雙方技術整合,將自身先進光譜技術融入量產量測端,構建起覆蓋"從Lab到Fab"的全鏈檢測能力。
值此SEMICON China 2026召開之際,HORIBA將首次全面展示整合后的檢測方案,搭載HORIBA光譜技術的EtaMax樣機將于2026年下半年部署至上海嘉定厚立方(C-CUBE),讓中國客戶在家門口即可體驗新一代檢測技術。這一系列動作,向中國市場釋放出"國際技術與本土服務深度融合"的明確信號。
技術破局:打通"研產"斷層,從表征到量產的精準接力
化合物半導體(如GaN、SiC)的研發周期長、工藝窗口窄,長期以來,實驗室級別的精密表征與產線級別的快速量測之間存在一道無形的"良率鴻溝"——研發端積累的材料數據,往往難以在量產端轉化為有效的工藝控制。
HORIBA對這一痛點的破局之道,在于打通"Lab"與"Fab"的檢測閉環:
兩者的融合,意味著HORIBA能夠為客戶提供從"材料應該怎么做"到"量產做得怎么樣"的完整數據閉環,讓研發數據直接指導產線工藝調整,讓產線數據反向驗證研發設計,從根本上提升良率爬坡效率。
產品矩陣:三大技術平臺直擊量產核心痛點
EtaMax帶來的不僅是設備的疊加,更是針對不同工藝節點的精準打擊能力:
在Semicon China 2026 同期召開的CS Asia亞洲化合物半導體大會上,HORIBA STEC Korea首席高管兼量測技術負責人Hyundon Jung博士將發表主題演講 《光致發光光譜:氮化鎵和碳化硅外延量測的必備技術》 ,深入剖析精準量測技術如何破解寬禁帶半導體的產業化瓶頸。
中國速度:從"產品引進"到"服務扎根"
對于中國市場而言,技術的領先性只是入場券,服務的即時性與深度適配才是贏得信任的關鍵。HORIBA深知,真正的"in China for China"不是簡單的銷售網絡鋪設,而是技術與本土工藝的"零距離"對話。
在本屆SEMICON China展臺上,參觀者將可以近距離了解EtaMax全系列產品的技術亮點。為了讓客戶獲得更直觀的體驗,HORIBA依托其位于上海嘉定、投資超5億人民幣建成的厚立方(C-CUBE),正加速推進EtaMax技術的本土化承接。
根據計劃,2026年首批部署于上海厚立方(C-CUBE)的EtaMax全自動PL晶圓檢測系統,將正式搭載HORIBA自主研發的高精度光譜儀,替代原有的第三方光學部件。這意味著,未來在中國市場推出的EtaMax系列產品,將在保留其原有產線級量測效率優勢的基礎上,融入HORIBA數十年積累的光譜分析內核,實現從"硬件集成"向"光譜技術原生整合"的跨越。
同時HORIBA將組建專屬的本土化應用團隊,配備演示樣機與測試平臺,這意味著HORIBA對中國的支持模式已從"間接支持"正式升級為"直接扎根"。中國客戶獲得的不僅是全球領先的檢測設備,更是由本土專家提供的、貼合國內產線實際需求的技術咨詢與售后支持。
共進:以國際技術為基,以中國速度為翼
2026年,是HORIBA深化"材料與半導體"戰略的關鍵之年,也是其在中國市場從"技術引入"邁向"價值共創"的新起點。通過整合EtaMax的卓越技術與厚立方的本土服務能力,HORIBA正以實際行動詮釋"國際技術+中國速度"的深度融合。
我們相信,只有扎根最深處的服務,才能托舉起最前沿的產業。HORIBA愿與中國化合物半導體產業鏈攜手,以精準的檢測數據賦能每一次創新,以高效的本土響應加速每一片晶圓的良率提升。
在即將到來的SEMICON China 2026上,歡迎蒞臨HORIBA展臺(N3-3101),共同見證EtaMax技術的魅力,探討全鏈檢測如何為產業破局提供關鍵支撐。
攜手共進,檢測未來。